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國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)現(xiàn)在是什么水平?

浪起激光2020-06-16118862
中國(guó)的芯片制造是中國(guó)科技界心中永遠(yuǎn)的傷痛。

雖然現(xiàn)在我們可以獨(dú)立制造出中低端的芯片,但對(duì)于高端芯片仍然無(wú)能為力,就因?yàn)槲覀儧](méi)有制造高端芯片的光刻機(jī)!
有人斷言,EUV光刻機(jī)太先進(jìn)了,如果我國(guó)未來(lái)5年可以買(mǎi)到,就能夠保證至少10年的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,那中國(guó)將會(huì)成為難以壓制的對(duì)手。然而,無(wú)奈的是,中芯國(guó)際多次向ASML提出購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)設(shè)備,卻因?yàn)槊绹?guó)的阻撓等種種原因,ASML久久未能交貨。
按照用途,光刻機(jī)可分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、用于封裝的光刻機(jī)、用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)這三種。其中用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)是中國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備制造上最大的短板,國(guó)內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機(jī)完全依賴(lài)進(jìn)口。國(guó)內(nèi)在這一領(lǐng)域差距太大,要想在短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代并不現(xiàn)實(shí)。
那國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)目前達(dá)到什么水平了?
目前,中國(guó)最牛的光刻機(jī)生產(chǎn)商是上海微電子裝備公司(SMEE),它可以做到的最精密的加工制程是90nm,這就好比2020年的電腦還在使用2004年最新款的intel奔騰四處理器,也即是說(shuō),中國(guó)光刻機(jī)與荷蘭光刻機(jī)之間有著至少15年的差距……
據(jù)媒體報(bào)道,上海微電子裝備公司新一代的28nm浸沒(méi)式光刻機(jī)預(yù)計(jì)今年可以完成,但即使順利也得明年才能導(dǎo)入產(chǎn)線試產(chǎn)。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)現(xiàn)在是什么水平?

此前,我國(guó)在重大專(zhuān)項(xiàng)計(jì)劃中提出,2020年要實(shí)現(xiàn)22nm制程光刻機(jī)的突破,但目前還沒(méi)有成功的消息。即便實(shí)現(xiàn)這一突破,距離最先進(jìn)的7nm以下的EUV光刻機(jī)仍然遙遠(yuǎn)。
但好消息是,由于該技術(shù)進(jìn)步空間非常有限,隨著制程的不斷縮小,繼續(xù)壓縮制程的難度越來(lái)越大,留給我們還有相對(duì)充足的追趕時(shí)間。
只是我國(guó)在自主研發(fā)制造光刻機(jī)這件事上,因?yàn)槊绹?guó)的技術(shù)封鎖,需要拿出單挑全世界的大氣魄,跟整個(gè)西方科技界死磕到底!


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